전공정 Fab 물류 최적화를 통한 생산성 개선
전공정 Fab 내에는 크게 세 가지 물류 기능이 필요한데 동사는 이 중 1) 웨이퍼 이송 박스인 FOUP 물류를 최적화 하는 클린컨베이어시스템과, 2) FOUP 내부에 질소를 주입해 수율을 향상시키는 질소퍼지시스템을 공급한다. 1) 일반적으로 FOUP은 천장에 설치된 레일을 통해 OHT(Overhead Hoist Transport)로 이송된다. 다만 OHT 단독 사용 시 물류 병목이 발생할 수 있는데 동사의 클린컨베이어시스템을 병행 사용할 경우 병목을 없애 3배 높은 반송량을 낸다. 2) 질소퍼지시스템은 FOUP 내부를 질소로 채워 산소 농도와 습도를 낮추는 시스템으로 웨이퍼의 산화를 방지한다. 웨이퍼 수율을 개선시켜 생산성 향상에 기여하기 때문에 기존 Fab 중심으로 도입 논의가 확대되는 추세다.