기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 기판 반송 장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 기판 반송 장치에 관한 것으로, 보다 상세히, 웨이퍼 수납용기와 공정장비 사이에서 웨이퍼의 반송을 행하는 기판 반송 장치에 관한 것임 |
| 3. 특허권자 | 로체시스템즈(주) |
| 4. 특허취득일자 | 2021-01-21 |
| 5. 특허 활용계획 | 당사의 이송장비에 적용될 예정입니다. |
| 6. 확인일자 | 2021-01-21 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 특허출원번호 10-2019-0099610 |