HBM 내면을 살펴볼 필요성이 상향되고 있다!
HBM의 단층이 상향되고 있으며, Bump의 Pitch가 미세화되고 있다. HBM 적층 및 TSV 불량여부를 확인하기 위해 X-ray 검사의 필요성이 확대되고 있다. 광학검사는 외관검사로 접합부 내부 상태 확인이 제한적이며, 초음파 검사는 고적층 및 미세 피치 검사에 한계가 존재하는 것으로 알려져 있다. 동사는 세계 최초로 Hybrid Open Tube를 개발하여 Close Tube의 장수명과 Open Tube의 고정밀 기술을 동시에 보유하고 있으며, X-ray Damage 저감 기술도 특허 등록을 완료한 상황으로 경쟁사대비 비교우위에 있다고 판단된다. 12년 수동 HBM용 X-ray 검사장비 납품을 시작했으며, 15년 25μm급 사업화를 진행했다. 인라인 HBM/WLP 공정 검사장비(3~5μm급) 개발을 완료했으며, 현재 국내외 고객사와 테스트를 검토하고 있다. 연내 고객사 테스트 결과가 확인될 것으로 기대, 퀄 통과시 26년 하반기 …