반도체 수율 제고의 필수재로 격상
유틸리티 장비가 단순 인프라에서 수율 개선을 위한 필수재로 지위가 격상되며, 수요 확대 국면에 진입했다. 유틸리티 장비는 메인 장비의 하부나 옆에 위치하며, 반도체 공정의 환경 및 수율 제어를 돕는다. 반도체의 고집적화·미세화가 진행되며 수율에 영향을 줄 수 있는 유틸리티 설비에 대한 중요성이 높아지고 있는 것이다. GST는 반도체 공정용 유틸리티 장비의 개발 및 생산업을 영위하며, 유해가스와 분진을 저감하는 스크러버와 챔버의 온도를 일정하게 유지하는 칠러를 주요 제품으로 보유중이다.

