반도체 사업 비중 확대 추진 중
AP시스템은 디스플레이 장비 매출이 높아 디스플레이 장비기업이라는 이미지가 강하다. OLED 장비로는 ELA, LLO, Lamination 등이 있다. 반도체 장비 매출이 발생하고 있지만, 비중이 10%내외(23년 7%, 24년 11%, 25년 13%)에 불과하다. R&D를 통해 다양한 반도체 장비를 개발 중이며, 10% 내외의 매출 비중을 30년까지 30% 수준으로 확대할 계획을 가지고 있다. RTP, 레이저 디본더, 분석실용 장비 등이 반도체 장비 비중 확대의 열쇠이다.
RTP(Rapid Thermal Processing). 웨이퍼를 급속 가열 후 급속 냉각을 통해 표면 평탄화,결정 손상 복구, 막 특성 개선 등을 수행하는 열처리 장비이다. 동사는 07년 국내 최초로 300mm 웨이퍼 RTP 장비 국산화에 성공, 현재 디램과 낸드 공정에 해당 장비를 공급하고 있다. 메모리반도체 미세화, 핀펫에서 GAA으로의 공전 전환 과정에서 수요가 확대될 것으로…

