반도체 습도제어 솔루션 전문기업
동사는 지난 2016년 설립된 반도체 습도제어 솔루션 전문기업으로 반도체 제조 과정에서 반도체 수율 등을 향상시키기 위한 N₂ Purge 기능이 포함된 LPM, JFS, BIP, CFB 등을 주력으로 생산하고 있다. 여기에서 N₂ Purge 시스템은 반도체 웨이퍼 이송 및 보관을 위한 LPM(Load Port Module)에 핵심 기술인 노즐을 장착 및 개조 후 N₂를 주입하여 웨이퍼 습도제어 및 불순물 등을 제거하는 시스템이다.
N₂ Purge LPM은 반도체 공정 내 매엽식 장비에 장착되는 LPM(Load Port Module)에 부착 및 개조되어 FOUP(Front Opening Universal Pod) 내 환경 제어 등을 통해 수율 등을 개선하는 제품이다. 또한 N₂ Purge 2세대 제품인 JFS(Justem Flow Straightener)의 경우 반도체 공정이 초미세화되면서 EFEM 내부의 기류를 차단하여, 하단 Slot의 웨이퍼 습도까…