특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 기판 반송 장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 고온에서 공정 수행중 가열된 고온의 기판을 반송하는데 사용되는 기판 반송 장치에 관한 것입니다. 본 발명은 고온의 기판이 놓여졌을 때 기판의 급격한 온도 변화를 최소화할 수 있어 기판의 열응력에 의한 보로킨을 방지할 수 있는 각별한 효과를 갖습니다. |
| 3. 특허권자 | 피에스케이(주) |
| 4. 특허취득일자 | 2009-09-02 |
| 5. 특허 활용계획 | 당사의 반도체장비 성능 향상 |
| 6. 확인일자 | 2009-09-02 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - |