특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 기판 제조장치 및 그 방법 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 기판을 지지하는 지지부재, 지지부재와 연결된 측정라인 및 측정라인의 내부압력을 측정하는 게이지를 구비하고, 지지부재는 감지홀이 형성되고, 측정라인은 감지홀과 연결됩니다. 지지부재와 기판의 밀착여부에 따라 게이지에 의해 측정되는 측정라인의 내부압력이 다르게 측정되는 원리를 이용하여 지지부재와 기판간의 정렬오류를 인지할 수 있으므로 기판 제조장치는 기판의 온도 균일도를 향상시키고, 제품의 수율 또한 향상시킬 수 있습니다. |
| 3. 특허권자 | 피에스케이(주) |
| 4. 특허취득일자 | 2009-09-30 |
| 5. 특허 활용계획 | 당사의 반도체장비 성능 향상 |
| 6. 확인일자 | 2009-09-30 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - |