특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | CVD 공정챔버에 구비되는 서셉터 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 특허는 액정표시장치용 CVD 챔버 내부에 설치되고 상면에 기판이 안착되어 원활한 증착을 위해 적절한 온도로 가열하도록 히터가 매설된 서셉터에 관한 것 으로 히터 내부로 대기 중의 수분 및 이물질이 침투 하는 것을 완벽히 차단할 수 있도록 개선된 구조를 갖는 서셉터 제작에 관한 사항이다. |
| 3. 특허권자 | (주)위지트 |
| 4. 특허취득일자 | 2013-11-06 |
| 5. 특허 활용계획 | 대기의 수분 및 이물질로부터 메탈히터를 완벽히 보호 할 수 있는 것으로 해당 제품만이 아닌 메탈히터가 삽입된 모든 제품, 특히 메탈히터가 삽입되는 반도체 및 LCD 장비 부품에 적용하여 우수한 품질의 차별화된 제품 생산에 적용 하고자 한다. |
| 6. 확인일자 | 2013-11-06 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - 상기 특허 취득일자 및 확인일자는 등록료 납부일임 |