특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 기판의 온도 균일성이 향상된 서셉터 |
| 2. 특허 주요내용 | - 본 특허는 액정표시장치용 CVD 챔버 내부에 설치되고 상면에 기판이 안착되어 원활한 증착을 위해 적절한 온도로 가열하도록 히터가 매설된 서셉터에 관한 것임. 보조히터가 본체의 중앙에 삽입되어 중심 부위의 온도를 상승시켜, 전체적인 온도 균일성을 향상시킨 서셉터 제조방법에 관한 내용 임. - 본 특허 기술이 적용된 제품은 전체적인 온도 균일성 및 히터의 수명이 향상됨으로써 공정 중 기판의 얼룩발생을 방지 할 수 있는 제조 방법을 제공 함. |
| 3. 특허권자 | (주)위지트 |
| 4. 특허취득일자 | 2016-09-01 |
| 5. 특허 활용계획 | 디스플레이 패널이 대형화 됨에따라, 증착을 위한 기판의 온도 균일성이 매우 중요한 사항으로 부각되고 있음. 이에 본 특허기술을 적용하여 제품의 온도 균일성을 높이 고, 제품 히터의 수명을 개선하여 기존 대비 우수한 품질 의 제품을 생산하는데 적극 활용. |
| 6. 확인일자 | 2016-09-01 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - 특허 취득일자 및 확인일자는 등록료 납부일임. - 특허출원번호 : 10-2015-0032623 |