특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 웨이퍼 캐리어 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 웨이퍼 캐리어에 관한 것으로, 웨이퍼 캐리어의 덮개에 가스 분배 유로를 형성함과 아울러 가스 분배 유로를 덮는 분배 유로 덮개판에 몸체 수납된 웨이퍼들 사이 사이에 대응되게 가스 배출공을 형성하여, 웨이퍼가 수납된 몸체 내부로 목적 가스를 주입하여 내부 공기를 치환하는 과정에서 수납된 웨이퍼들 사이 사이로 공급되 는 목적 가스의 흐름을 유도하여 몸체 내부의 공기 치환율을 높일 수 있도록 하는 효과를 갖는다. |
| 3. 특허권자 | 주식회사 삼에스코리아 |
| 4. 특허취득일자 | 2014-02-24 |
| 5. 특허 활용계획 | 공정용 웨이퍼 캐리어(FOUP) 생산에 특허 기술을 적용하여 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2014-02-24 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허 등록료 납부일 기준입니다. |