특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 엔드 이펙터{END EFFECTOR} |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 초박막웨이퍼를 다루는 기술로, 공기를 공급하게 되면 빈 고리 내부에서 빠른 공기 흐름이 생기게 되고 이 공기가 맞물린 작은 틈을 통해 강하게 불어나오며 고리 바깥 부분의 공기가 둥근 고리를 통과하게 되며 강한 기류를 형성하게 되는데 이 Bernoulli 원리를 이용해 Thin Wafer의 둘레 부분을 흡착하는 원리이다. 본 발명에 의한 엔드 이펙터는 기류를 유도하는 기류유도부와 유도된 기류를 이용하여 웨이퍼를 흡착하는 흡입부를 포함하여 얇은 박막형태의 웨이퍼도 휘어짐이나 깨짐 없이 웨이퍼를 안정적으로 이송할 수 있다. 따라서 웨이퍼 생산공정에 불량률을 줄이는 동시에 생산량을 향상시킬 수 있다. |
| 3. 특허권자 | 로체시스템즈(주) |
| 4. 특허취득일자 | 2012-09-12 |
| 5. 특허 활용계획 | 당사에서 개발중인 반도체 후공정용 WAFER 가공장비에 적용되는 기술입니다. |
| 6. 확인일자 | 2012-09-12 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - |