특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 정전척 및 이를 갖는 기판 가공 장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명의 정전척은 평면적으로 원 형상을 갖고 상부면에 기판이 놓여지며 냉각가스를 순환시키기 위한 냉각가스 순환라인을 갖는 세라믹판, 및 평면적으로 세라믹판과 대응되는 형상을 갖고 세라믹판을 지지하며 냉각수를 순환시키기 위한 냉각수 순환라인을 갖는 몸체를 포함한다. 몸체 및 세라믹판에는 냉각가스 순환라인과 연결되어 냉각가스를 제공하는 냉각가스 공급홀 및 냉각수 순환라인과 연결되어 냉각수를 제공하는 냉각수 공급홀이 형성된다. 이와 같이, 세라믹판의 냉각가스 순환라인과 몸체의 냉각수 순환라인을 통해 냉각가스 및 냉각수가 순환되어 기판의 온도를 더욱 감소시킬 수 있다. |
| 3. 특허권자 | 로체시스템즈(주) |
| 4. 특허취득일자 | 2013-05-31 |
| 5. 특허 활용계획 | 당사의 반도체 장치에 적용될 예정입니다. |
| 6. 확인일자 | 2013-05-31 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 특허출원번호 10-2011-0007330 |