특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 유리기판 이송장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 유리 기판 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 밀폐형 카세트 내에 적재되어 있는 반도체나 유리기판의 반송작업을 할 수 있도록 하는 유리 기판 이송장치에 관한 것이다. |
| 3. 특허권자 | 로체시스템즈(주) |
| 4. 특허취득일자 | 2013-11-11 |
| 5. 특허 활용계획 | 당사의 반도체 제조장치에 적용될 기술입니다. |
| 6. 확인일자 | 2013-11-11 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 특허출원번호 10-2011-0118454 |