특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 로드포트 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 로드포트를 반도체 이송장비(EFEM)에 장착하는 작업 및 유지보수를 위해 분리 또는 장착하는 작업의 효율을 향상시킬 수 있는 로드포트에 관한 것이다. 로드포트는 반도체 이송장비(EFEM)와 접하는 베이스 플레이트, 상기 베이스 플레이트의 일면으로부터 돌출되어 웨이퍼 카세트를 지지하는 지지부 및 베이스 플레이트의 배면에 부착된 얼라인부를 포함하고, 상기 얼라인부는 중앙부가 하부를 향해 돌출된 좌우 얼라인 부재 및 상기 배면을 기준으로 외측 하부로 갈수록 좁아지는 전후 얼라인 부재를 구비되어 로드포트를 반도체 이송장비(EFEM)에 장착 할 때 정위치로 유도하도록 하여, 로드포트를 반도체 이송장비(EFEM)에 설치하는 설치작업과 유지보수 및 고장으로 인한 교체를 위해 반도체 이송장비(EFEM)에서 분리하는 분리 작업의 효율성을 대폭 향상시킬 수 있다. |
| 3. 특허권자 | 로체시스템즈(주) |
| 4. 특허취득일자 | 2013-11-28 |
| 5. 특허 활용계획 | 당사의 반도체 이송장비에 적용될 예정입니다. |
| 6. 확인일자 | 2013-11-28 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 특허출원번호 10-2010-0122710 |