특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 웨이퍼 식각 시스템 및 이를 이용한 웨이퍼 식각 공정 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 웨이퍼 식각 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기존의 웨이퍼 그라인더와, 웨이퍼 보호 및 핸들링을 하기 위한 보호테이프 부착 및 웨이퍼 다이싱을 위해 웨이퍼에 테이프를 붙이는 테이프 마운터 사이에 건식 식각챔버와 이송 챔버를 연속적으로 설치하여 얇은 웨이퍼의 제작과 이송을 원활하게 할 수 있도록 하는 웨이퍼 식각 시스템 및 이를 이용한 웨이퍼 식각 공정에 관한 것임. |
| 3. 특허권자 | 로체시스템즈(주) |
| 4. 특허취득일자 | 2014-03-05 |
| 5. 특허 활용계획 | 당사의 반도체 제조공정라인에 적용될 예정입니다. |
| 6. 확인일자 | 2014-03-05 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 특허출원번호 10-2012-0138084 |