특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 퍼지 모듈 및 이를 포함하는 로드 포트 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 퍼지 모듈 및 이를 포함하는 로드 포트에 관한 것으로, 보다 상세히 반도체 웨이퍼들이 패킹된 웨이퍼 캐리어 내에 가스를 이용하여 퍼지(purge)하는 퍼지 모듈 및 이를 포함하는 로드 포트에 관한 것임. 특허출원번호 제 10-2014-0115256호 |
| 3. 특허권자 | 로체시스템즈(주) |
| 4. 특허취득일자 | 2016-02-03 |
| 5. 특허 활용계획 | 당사의 반도체 이송장비에 적용될 예정입니다. |
| 6. 확인일자 | 2016-02-03 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 특허취득일자 및 확인일자는 특허수수료 납부일자임. |