특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 다층 구조의자외선 반사막을 갖는 엑시머 램프 및 그의 제작 방법 |
| 2. 특허 주요내용 | 코팅 물질의 부착성이 증대되어 반사막의 탈락이 없고 신뢰성이 뛰어나고, 고온에 강하며, 반사율이 높은 다층 구조의 자외선 반사막을 갖는 엑시머 램프 및 그의 제작 방법에 관한 특허 |
| 3. 특허권자 | 주식회사 원익큐엔씨 |
| 4. 특허취득일자 | 2015-12-24 |
| 5. 특허 활용계획 | 본 특허는 유기 오염 물질을 제거하는 세정 처리 기술이나 피처리체의 표면에 산화막을 형성하는 산화막 형성 처리 기술 등이 개발되어 실용화된 공정처럼, 진공 자외선 및 오존의 작용에 의해 피처리체를 처리하는 기술을 필요로 하는 공정에 적용 중인 엑시머 램프의 신뢰성을 높일 수 있을 것으로 기대. |
| 6. 확인일자 | 2015-12-24 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - 상기 특허는 국내 특허임. - 특허출원번호 : 10-2015-0105555 |