특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 화학기상 증착용 쿼츠 지그의 표면 처리 방법, 쿼츠 지그의 표면 처리용 조성물 및 그에 의해 제작된 쿼츠 지그 |
| 2. 특허 주요내용 | 화학기상증착용 쿼츠 지그의 표면 처리 방법으로써 최적 엠보싱 표면 처리로 반도체 CVD공정에서 장시간 사용에 따라 발생하는 박막의 박리 억제를 통해 파티클을 저감시켜 불량률을 줄일 수 있는 기술임. |
| 3. 특허권자 | 주식회사 원익큐엔씨 |
| 4. 특허취득일자 | 2016-03-22 |
| 5. 특허 활용계획 | 쿼츠 표면처리 공법의 권리 확보를 통한 기술 경쟁력 강화 및 관련품목 매출증대 |
| 6. 확인일자 | 2016-03-22 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - 상기 특허는 국내 특허임. - 특허출원번호 : 10-2014-0099661 |