기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 유도 결합 플라즈마 처리장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 1.내용 -건식식각장비 공정공간 내에 공정가스를 수용하는 복수 개의 실링 존을 형성하여 독립적으로 공정가스를 분사시키는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 처리장치 2.효과 -윈도우 조립체와 커버 조립체 사이에 일정 간격의 공간을 형성할 수 있는 실링 조립체를 배치하여 외부로부터 공급된 공정가스를 수용하여 공정 공간으로 분사시킬 수 있으므로 샤워헤드의 미사용에 따라 전체 장비의 크기를 축소함과 함께 유지보수 비용을 절감할 수 있다. -복수 개의 실링존은 실링부재에 의해 실링됨에 따라 공정가스의 상호 누출을 방지할 수 있으므로 기판 처리 공정 시 공정 신뢰성을 향상할 수 있다. |
| 3. 특허권자 | 인베니아(주) |
| 4. 특허취득일자 | 2020-12-22 |
| 5. 특허 활용계획 | 대면적 OLED 건식식각장비에 적용될 예정이며,이를통해 차세대 유도결합형 플라즈마 방식 건식식각장비의 장비 경쟁력 강화 및 기술수준이 향상될 것이다. |
| 6. 확인일자 | 2020-12-22 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - 상기 특허는 국내특허임 - 출원번호 : 제 10-2019-0094454 호 - 특허취득일자는 특허 수수료 납부일자이며,확인일자는 특허등록 대리인으로부터 통지받은 날입니다. |