특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 막두께 측정장치 및 이를 구비한 증착장비 (OLED용 패널 제조용 증착장비) |
| 2. 특허 주요내용 | 본 건은 증발원으로부터 증발하는 물질의 상태를 측정하여 막두께를 산출할 수 있도록 이루어진 막두께 측정기로서, OLED 패널 제조용 증착장비 관련한 특허입니다. 증발물질이 증착챔버 내 기판과 증착물질 공급장치 사이의 공간에 배치된 통형 가이드를 통해 측정기쪽으로 유도됨과 동시에 통형가이드의 홀을 통해서도 유입됨으로써 증발물질의 양을 보다 정확하게 측정할 수 있는 장비입니다. |
| 3. 특허권자 | 엘아이지에이디피주식회사 |
| 4. 특허취득일자 | 2013-03-07 |
| 5. 특허 활용계획 | OLED 패널 제조용 증착장비의 경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2013-03-07 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - |