특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 웨이퍼 이송장비 및 이송방법 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 웨이퍼의 위치를 인식하고 흡착하여 정해진 위치로 정확하게 정렬시킬 뿐만 아니라 웨이퍼들을 각각의 위치에 정렬시키는 과정에서 얇은 웨이퍼가 손상 또는 파손되는 것을 방지하는 기술임. |
| 3. 특허권자 | (주)로보스타 |
| 4. 특허취득일자 | 2012-10-08 |
| 5. 특허 활용계획 | 1. 당사제품에 본 특허기술을 적용하여 성능개선 및 기능 강화 2. 로봇을 응용한 시스템으로 반도체, 태양전지 생산공정에 활용 |
| 6. 확인일자 | 2012-10-08 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 상기 특허의 취득일자는 특허료 납부일자 임. |