특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 진공 환경 작업용 반송로봇(A TRANSFER ROBOT FOR SPECIFIC ENVIRONMENT) |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 진공챔버가 외부로부터 오염되지않도록 공기의 소통을 차단하는 것을 기본으로 하며, 상하 신축 가능한 벨로우즈와 자성유체 실수단의 설치 위치를 변경하되, 벨로우즈의 내부쪽에 자성유체 실수단을 두고, 벨로우즈를 진공챔버의 내부와 외부간의 공기 소통을 차단하는 기능 및 승하강에 관여하는 기능으로만 한정되도록 구성하여 이 벨로우즈에 가해지는 부하를 제거할 수 있도록 한 진공환경 작업용 반송로봇이다. |
| 3. 특허권자 | (주)로보스타 |
| 4. 특허취득일자 | 2013-09-24 |
| 5. 특허 활용계획 | 1.진공환경 작업용 로봇으로 외부로부터 오염물질을 차단이 필요한 공정에 적용 가능 2. 디스플레이 생산공정에 적용 |
| 6. 확인일자 | 2013-09-24 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 상기 특허의 취득일자는 특허료 납부일자임. |