기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 박막증착장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 특허는 박막증착장치에 대한 것으로, 특히 그 중에서 기판지지핀에 대한 것임. 공정의 진행을 위하여 기판지지부에 안착시킨 기판을 가열하게 되면 기판에 처짐 현상이 발생하게 되며, 이러한 처짐 현상을 방지하기 위하여 기판지지부의 상면에 복수 개의 기판지지핀을 구비하게됨. 본 특허에 따르면 기판의 처짐을 방지하기 위하여 기판지지부의 상면에 기판지지핀을 구비하는 경우에도 기판지지부의 팽창에 의하여 기판의 가장자리가 기판지지링으로부터 떨어지지 않도록 하여 기판 하면에 증착이 발생하는 것을 방지할 수 있음. |
| 3. 특허권자 | 주식회사 테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2019-10-07 |
| 5. 특허 활용계획 | 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2019-10-07 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 1. 출원번호(국내) :제10-2017-0103584 2. 상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허 수수료 납부일자 기준임 |