기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 박막증착장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 특허는 원자층 증착법으로 박막을 증착하는 박막증착장치에 관한 것임. 본 특허에 따르면, 원료가스 분사노즐과 배기유로의 형태와 배치구조를 변경하여 원료가스와 반응가스의 유동을 양자가 최대한 섞이지 않는 방향으로 제한함으로써, 가스의 기생 반응에 의한 파우더 발생이 최대한 억제될 수 있음. |
| 3. 특허권자 | (주)테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2020-02-06 |
| 5. 특허 활용계획 | 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2020-02-06 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 1.출원번호(국내) :10-2017-0174880 2.상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허 수수료 납부일자 기준임. |