기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 기판처리장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 특허는 초임계 유체를 이용하여 기판에 대한 처리공정을 수행하는 기판처리장치에 있어서 챔버를 밀폐시키는 오링의 손상을 방지하여 수명을 연장시킬 수 있는 기판처리장치에 대한 것임. 본 특허에 따른 기판처리장치는 챔버의 외측을 향해 복수개의 오링을 순차적으로 배치하고, 복수개의 오링들 사이에 별도의 버퍼공간을 마련하여 이러한 버퍼공간에 미리 설정된 압력의 보호유체를 공급함으로써, 오링에 작용하는 압력을 줄여 오링의 손상 및 파손을 방지하고 오링의 수명을 늘릴 수 있음. |
| 3. 특허권자 | (주)테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2020-05-12 |
| 5. 특허 활용계획 | 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2020-05-12 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 1.출원번호(국내): 10-2018-0154827 2.상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허 수수료 납부일자 기준임. |