기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 기판처리장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 특허는 RPS(Remote Plasma Source)를 구비한 기판처리장치에 관한 것으로서, 플라즈마로 인한 온도상승을 완화시키고 온도상승에 의한 손상 및 파손을 방지할 수 있는 기판처리장치에 대한 것임. 본 특허에 따른 기판처리장치는 RPS장비가 도파관의 열팽창에 따라 위치가변이 가능하게 설치되어 도파관 및 도파관에 연결된 부품들의 손상 및 파손을 방지할 수 있으며, 도파관을 냉각시키는 냉각유닛이 도파관의 열팽창에 따라 위치가변이 가능하게 설치되는 특징을 가지고 있음. |
| 3. 특허권자 | (주)테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2020-06-03 |
| 5. 특허 활용계획 | 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2020-06-03 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 1.출원번호(국내): 10-2019-0084996 2.상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허 수수료 납부일자 기준임. |