기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 기판처리장치 및 기판처리장치의 오링 세정방법 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 특허는 초임계 유체를 이용하여 기판에 대한 처리공정을 수행하는 기판처리장치 및 기판처리장치의 오링 세정방법에 관한 것으로서, 챔버를 밀폐시키는 오링을 세정하고 손상여부를 감지할수 있는 기판처리장치 및 기판처리장치의 오링 세정방법에 대한 것임. 본 특허에 따른 기판처리장치 및 기판처리장치의 오링 세정방법은, 오링을 세정하는 경우에 별도의 노즐을 구비하지 않고 챔버 내부의 유체를 사용하여 세정함으로써, 오링의 오염을 방지할 수 있고 배출되는 유체의 압력을 감지하여 오링의 손상여부를 판단하여 유지보수 시기를 적절하여 결정할 수 있음. |
| 3. 특허권자 | (주)테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2020-06-03 |
| 5. 특허 활용계획 | 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2020-06-03 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 1.출원번호(국내): 10-2018-0155029 2.상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허 수수료 납부일자 기준임. |