기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 기판처리장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 챔버 내에서 기판을 향해 초임계유체를 공급하는 경우에 와류 또는 난류를 생성시켜 데드존을 줄일 수 있는 기판처리장치에 대한 것임. 본 발명에 따르면, 챔버 내부 유체의 흐름에 와류 또는 난류를 발생시켜 기판의 상면에 데드존 발생을 방지하며 패턴 사이의 처리액을 용이하게 치환할 수 있음. 또한, 챔버에 별도의 회전하는 구성요소를 구비하지 않고서도 챔버 내부에 와류 또는 난류를 발생시킬 수 있어 회전하는 구성요소로 인해 발생할 수 있는 파티클 요인을 차단할 수 있음. |
| 3. 특허권자 | (주)테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2020-09-04 |
| 5. 특허 활용계획 | 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2020-09-04 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 1.출원번호(국내) : 10-2018-0166646 2.상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허수수료 납부일 기준임. |