기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 유기금속화학기상증착장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 기판지지부의 수용홈에 형성될 수 있는 파티클 등으로 인해 기판이 기울어져 배치되는 것을 방지하고, 기판의 회전을 방지하여 기판이 수용홈에 끼이거나 파손되는 것을 방지하는 유기금속화학기상증착장치에 관한 것임. 본 발명에 의하면, 기판지지부의 수용홈에 기판이 안착되는 안착부와 수용홈의 내면 사이에 중간홈을 형성함으로써 파티클 등과 같은 이물질이 중간홈에 형성되도록 유도하여 기판이 수용홈에 배치되는 경우에 기울어져 배치되는 것을 방지할 수 있음. 또한, 기판이 안착되는 수용홈의 내측 가장자리를 따라 돌출부를 구비하여 기판의 회전을 방지함으로써 기판이 수용홈의 내부에 끼이거나 파손되는 것을 방지할 수 있음. |
| 3. 특허권자 | (주)테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2020-09-04 |
| 5. 특허 활용계획 | 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2020-09-04 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 1.출원번호(국내): 10-2017-0167443 2.상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허수수료 납부일 기준임. |