기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 서셉터 및 이를 포함하는 MOCVD 장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 코팅층에 의해 지지면 상에서의 온도 편차를 감소시키고, 정확한 지지면 상의 온도를 측정할 수 있는 서셉터 및 이를 포함하는 MOCVD 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 기판을 지지하는 지지면 상에서의 온도 불균일성을 감소시킴으로써 기판 상에서의 보다 균일한 특성을 갖는 박막 성장이 가능하고 MOCVD 공정에 의해 성장된 기판을 사용하여 소자 제작 시 높은 수율을 얻을 수 있으며 정확한 지지면 상의 온도를 측정할 수 있다. |
| 3. 특허권자 | (주)테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2021-01-15 |
| 5. 특허 활용계획 | 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2021-01-15 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - 출원번호(국내): 10-2018-0109824 - 상기 특허취득 및 확인일자는 특허수수료 납부일 기준임 |