기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 가스공급부 및 이를 구비한 박막증착장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 상기 특허는 반도체 장비에 적용되는 기술임 본 특허에 의하면, 혼합가스의 집중 현상을 방지하고 기판을 향해 고루 분사하여 공급할 수 있어 균일한 증착막을 형성하는데 기여하여 증착 효율성을 향상시킴 |
| 3. 특허권자 | 주식회사 테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2017-06-09 |
| 5. 특허 활용계획 | 상기 특허와 관련된 기술을 반도체 장비에 적용하고 R&D활동에도 응용하여 제품경쟁력 강화에 활용할 계획임. |
| 6. 확인일자 | 2017-06-09 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 1. 출원번호(국내) : 제10-2015-0151548 2. 상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허 수수료 납부일자 기준임. |