기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 플라즈마를 이용한 비정질 탄소막의 증착 방법 |
| 2. 특허 주요내용 | 상기 특허는 반도체 장비에 적용되는 기술임 본 특허에 의하면, 플라즈마를 이용한 비정질 탄소막(ACL)의 증착 방법에 관한 것으로, 기판에 비정질 탄소막을 증착할 때 붕소가 도핑된 박막과 도핑되지 않은 박막을 교차 증착함으로써 식각 선택비를 증가시켜 공정 효율성을 개선시킬 수 있음. |
| 3. 특허권자 | 주식회사 테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2018-03-06 |
| 5. 특허 활용계획 | 상기 특허와 관련된 기술을 반도체 장비에 적용하고 R&D활동에도 응용하여 제품경쟁력 강화에 활용할 계획임. |
| 6. 확인일자 | 2018-03-06 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 1. 출원번호(국내) : 제10-2016-0014414 2. 상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허 수수료 납부일자 기준임. |