기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 기판식각장치의 기판 식각 제어방법 |
| 2. 특허 주요내용 | 상기 특허는 반도체 장비에 적용되는 기술임. 본 특허에 따르면, 연속적인 식각 공정을 수행하는 경우에 기판 안착부를 로드 포트에서 분리하지 않고 연속적으로 식각 공정을 수행할 수 있게 되어 식각 공정의 쓰루풋을 현저히 향상시킬 수 있음. |
| 3. 특허권자 | 주식회사 테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2018-07-27 |
| 5. 특허 활용계획 | 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2018-07-27 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - 상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허수수료 납부일자 기준임. |