기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 플라즈마 처리장치 및 이를 이용한 탄소막의 증착방법 |
| 2. 특허 주요내용 | 상기 특허는 반도체 장비에 적용되는 기술임. 본 특허에 따르면, 하드 마스크로 사용되는 탄소막을 증착하기 위하여 나노 다이아몬드 파우더가 혼합된 단일 액체 전구체를 사용함으로써, 탄소막의 응력 및 흡광계수를 종래에 비해 낮출 수 있으며, 비용 절감 및 생산성을 현저히 향상시킬 수 있음. |
| 3. 특허권자 | 주식회사 테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2018-10-12 |
| 5. 특허 활용계획 | 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2018-10-12 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 1. 출원번호(국내) : 제10-2017-0055778 2. 상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허 수수료 납부일자 기준임. |