기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 기판검사방법 및 기판처리장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 상기 특허는 반도체 장비에 적용되는 기술임. 본 특허에 따르면, 기판의 이송 중에 기판의 에지 등의 영역에 파손이 발생하는 경우에 이를 감지할 수 있으며, 나아가 기판에 파손이 발생하지 않은 경우에도 기판이 틸트(tilt), 시프트(shift) 또는 틸트 및 시프트된 경우를 식별할 수 있음. |
| 3. 특허권자 | 주식회사 테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2019-06-13 |
| 5. 특허 활용계획 | 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2019-06-13 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 1. 출원번호(국내) : 제10-2017-0147797 2. 상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허 수수료 납부일자 기준임 |