특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 리크 방지 기능을 갖는 N2 퍼지 노즐 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 반도체 공정용 웨이퍼처리 장치, Load port module에서FOUP의 내부에 N2 gas를 공급하는 노즐장치와 배기하는 노즐장치로 구성 된 Load port module의 리크 방지 기능을 포함한 N2 퍼지노즐에 관한 것으로, 보다 상세하게는 노즐의 교체 없이 여러 종류의 FOUP에 리크 발생 없이 N2 공급 가능하도록 하는 리크 방지 기능을 포함한 N2 퍼지노즐에 관한 것입니다. |
| 3. 특허권자 | 주식회사 싸이맥스 |
| 4. 특허취득일자 | 2016-09-01 |
| 5. 특허 활용계획 | 특허기술적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2016-09-09 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 1. 상기 특허는 국내특허(출원번호 제10-2015-0076367) 입니다. 2. 상기 특허취득일자는 특허수수료 납부일자 입니다. 3. 상기 확인일자는 특허대리인(다솔특허법률사무소)으로부터 특허증 접수보고 공문 수령일자 입니다. |