기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 솔레노이드 분리형 N2 퍼지 노즐 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 솔레노이드 분리형 N2 퍼지 노즐에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 웨이퍼 처리 장치 중 FOUP(Front Opening Unified Pod)에 N2를 공급하는 LPM(Load Port Module)의 N2 퍼지 노즐에 있어서, N2 퍼지 노즐을 일체로 작동될 수 있도록 솔레노이드를 결합시킴으로써, FOUP(Front Opening Unified Pod)가 LPM(Load Port Module)에 안착시, LPM(Load Port Module)의 노즐을 솔레노이드를 통해 하측 방향으로 이동시켰다가 FOUP(Front Opening Unified Pod)이 LPM(Load Port Module)에 안착되면, 스프링의 탄성을 통해 노즐을 다시 상측 방향으로 이동시켜 노즐이 FOUP(Front Opening Unified Pod)의 N2 inlet hole에 기밀하게 밀착되어 리크를 방지할 수 있는 솔레노이드 분리형 N2 퍼지 노즐에 관한 것입니다. |
| 3. 특허권자 | (주)싸이맥스 외 1명 |
| 4. 특허취득일자 | 2017-02-01 |
| 5. 특허 활용계획 | 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2017-02-01 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 1. 상기 특허는 국내특허(출원번호 제10-2016-0021985) 입니다. 2. 상기 특허취득일자는 특허수수료 납부일자 입니다. 3. 상기 확인일자는 특허대리인(다솔특허법률사무소)으로부터 특허증 접수보고 공문 수령일자 입니다. |