기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 웨이퍼 처리장치의 배기장치 [EXHAUST DEVICE OF WAFER PROCESSING APPARATUS] |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 웨이퍼 처리장치의 배기장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 본체의 양 측면에 설치된 사이드 스토리지에서 불활성가스를 웨이퍼 처리장치의 중앙 방향으로 블로잉하고, 상부의 송풍부에서 웨이퍼 처리장치의 하측 방향으로 바람을 발생하여 배기부를 통해 외부로 공기를 배기함으로써 웨이퍼의 오염을 최소화하는 웨이퍼 처리장치의 배기장치에 관한 것임. |
| 3. 특허권자 | (주)싸이맥스 |
| 4. 특허취득일자 | 2017-07-10 |
| 5. 특허 활용계획 | 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2017-07-10 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 1. 상기 특허는 국내특허(출원번호 제10-2015-0136690) 입니다. 2. 상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허수수료 납부일자 입니다. |