기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 가스 노즐플레이트를 구비한 사이드 스토리지 [SIDE STRAGE HAVING A GAS NOZZLE PLATE] |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 웨이퍼 처리장치의 양 측면에 설치된 사이드 스토리지의 블로잉 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼 스토리지의 후면에 설치된 불활성가스 공급부에서 상기 웨이퍼 스토리지의 전면으로 불활성가스를 블로잉하여 웨이퍼 표면의 공정가스 및 흄 등과 같은 이물을 제거하여 웨이퍼 불량률을 감소시키는 것을 특징으로 하는 가스 노즐플레이틀 구비한 사이드 스토리지에 관한 것임. |
| 3. 특허권자 | (주)싸이맥스 |
| 4. 특허취득일자 | 2017-07-10 |
| 5. 특허 활용계획 | 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2017-07-10 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 1. 상기 특허는 국내특허(출원번호 제10-2015-0136689) 입니다. 2. 상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허수수료 납부일자 입니다. |