기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 로드포트 정렬 측정 장치 [Alignment measuring device for load port] |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 로드포트 정렬 측정 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼나 반도체로 일컬어지는 기판 제조 공정에서 기판의 반송에 사용되는 로드포트에서 구동 상의 정렬 상태를 측정할 수 있는 로드포트 정렬 측정 장치에 관한 것임. |
| 3. 특허권자 | (주)싸이맥스 |
| 4. 특허취득일자 | 2017-12-04 |
| 5. 특허 활용계획 | LPM 생산공정에 특허기술을 적용하여 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2017-12-04 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 1. 상기 특허는 국내특허(출원번호 제10-2017-0060351) 입니다. 2. 상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허수수료 납부일자 입니다. |