기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
| 1. 특허명칭 | [국내특허]기판 검사기의 시료 용액 샘플링 방법 및 그 장치. |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 반도체 웨이퍼와 같은 기판을 검사하기 위한 기판 검사기에서 시료 용액을 채취하는 방법과 그 장치에 관한 것으로,더욱 구체적으로는 기판의 불순물을 검사하기 위해서 기판을 회전 이동시키면서 기판의 외표면에 시료 용액 방울을 점적하여 부착시키고,불순물을 용해시킨 다음,검사를 위해 기판 표면에 부착된 시료 용액을 회수하기에 매우 적합한 기판 검사기기의 시료 용액 채취 방법 및 그장치에 관한 것이다. |
| 3. 특허권자 | (주)위드텍 |
| 4. 특허취득일자 | 2021-03-05 |
| 5. 특허 활용계획 | 당사 웨이퍼 표면의 오염물질 모니터링 자동화 설비에 활용. |
| 6. 확인일자 | 2021-03-05 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - 본 특허는 국내 특허임. - 특허출원번호 : 10-2020-0142684 - 확인일자는 특허수수료 납입일 기준입니다. |